vatvalve角控制閥62032-KAGH-0001

62.0 角控制閥系列適用于高壓和/或高溫環境（例如 ALD 或 CVD）下的真空工藝。62.0 系列的最高工作溫度為 200℃，可提供非常精確的壓力控制性能。得益于其電動線性驅動器，該系列閥門能夠以最小流導通過順暢且精細的控制循環地打開和關閉。集成式軟抽控制功能通過避免與大多數傳統氣動驅動器相關的壓力峰值來增強這一點。

設備上控制器（DN 80 和 DN 100 的外部控制器）提供服務端口連接和各種接口以連接到 PCU。閥門控制器的主要特點也是控制性能分析儀應用程序，通過該應用程序可以分析一段時間內閥門在各種工藝條件下的性能。

vatvalve角控制閥62032-KAGH-0001

控制器接口為 RS232、RS485、Logic（模擬/ 數字）、DeviceNet®、Profibus 和 EtherCAT。

技術數據：

尺寸

DN 40 (1 ?")

法蘭

ISO-KF

材料

鋁

驅動器

帶有閉環控制步進電機的線性驅動器

定位指示信號

沒有

電磁閥

沒有

控制器

基本版本

INTERFACE

RS232

低壓力

1 × 10-8 mbar

最高壓力

1.4 bar (abs)

閘門上的壓差

≤ 1 bar

打開時的壓差

≤ 1 bar

電導率

0.05 ls?1

打開到關閉

1.25 s

關閉到打開

0.9 s

壓力控制（節流）默認速度時間

1.7 s

控制器配置

基本版本/集群從屬

控制器接口+感應器

RS232接口/2個感應器

重量

2.3 kg / 5.07 lbs